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热门关键词:螺杆真空泵、滑阀真空泵系列、罗茨真空泵系列、气冷式(直排大气)、SK、2S(Y)K系列液环泵

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产品名称

光伏行业真空泵系列

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产品描述

JZJLG150-3T型螺杆真空机组性能参数表:

 

机  组  型  号Model

单位unit

JZJLG150-3T

    Pumping Speed

 

50Hz/60Hz

L/S

150/180

m3/h

540/648

极 限 真 空Ultimate Pressure

Pa

0.3

Torr

4X10-3

水冷密封电机Water-cooled motor

频率Frequency

Hz

50/60

电压Voltage

V

380

功率Rated Power

kW

2+4.5

转速

speed

罗茨真空泵

Roots vacuum pump ZJ-150G

rpm

2900/3480

螺杆真空泵

Screw Vacuum Pump

LG50G

rpm

2900/3480

氮气N2/CDA

压力Pressure

MPa

0.1-0.2

流量Purge Flow

l/min

5-30

冷却水Cooling

Water

压力Pressure

MPa

0.15-0.2

压力差Pressure difference

MPa

0.1

温度Temp.

10-30

流量Purge Flow

l/min

3-5

进气口径Inlet

mm

DN100

排气口径Outlet

mm

DN40

重    量 Weight

Kq

550

    Noise

dB(A

72

Dim.外形尺寸(长×宽×高)L×W×H

mm

1050×450 ×1050

 

单晶炉用干式螺杆真空泵的特点:

·无油气污染真空系统,可获得清洁真空

·配置单晶硅专用过滤器,减少硅粉吸入真空泵

·被抽气体不会被污染,尾气可进行回收利用

·无油气和油烟等有害气体的排放,环境污染小

·避免了因泵腔内润滑油乳化、变质而出现的运行故障,提高了系统的稳定性,同时减少了泵润滑油的损耗

·泵可单独使用,或者与罗茨泵、分子泵等组合成无油真空机组,作为机组的前级泵使用。单泵进气压力在1Pa至大气压均能正常工作,抽气效率高,可大大简化抽真空系统

·泵腔内各相对运动零件之间采用间隙密封,零件间无接触摩擦存在,零件损耗小,使用寿命长

·泵腔内采用间隙密封,对少量小颗粒粉尘不敏感

·整机体积小,减少占地面积

·消耗功率更低,节能效果好

·运行噪声低

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