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光伏行业真空泵系列


产品分类:

光伏行业真空泵系列


产品概要:


关键词:

真空设备



光伏行业真空泵系列


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参数文案介绍 外形图 原理图

JZJLG150-3T型螺杆真空机组性能参数表:

 

机  组  型  号Model

单位unit

JZJLG150-3T

JZJLG220-4T

抽 气 速 率 Pumping Speed

 

50Hz/60Hz

L/S

170/210

250/300

m3/h

630/756

900/1080

极 限 真 空Ultimate Pressure

Pa

≤0.2/0.1

≤0.2/0.1

Torr

≤1.5X10-3 ≤7.5X10-4

≤1.5X10-3 ≤7.5X10-4

水冷密封电机Water-cooled motor

频率Frequency

Hz

50/60

50/60

电压Voltage

V

380

380

功率Rated Power

kW

3+4.5

3+4.5

转速

speed

罗茨真空泵

Roots vacuum pump ZJ-150G

rpm

2900/3480

2900/3480

螺杆真空泵

Screw Vacuum Pump

LG50G

rpm

2900

2900

氮气N2/CDA

压力Pressure

MPa

0.05-0.1

0.05-0.1

流量Purge Flow

l/min

6-20

6-20

冷却水Cooling

Water

压力Pressure

MPa

0.2-0.4

0.2-0.4

压力差Pressure difference

MPa

0.1

0.1

温度Temp.

10-30

10-30

流量Purge Flow

l/min

3-5

3-5

进气口径Inlet

mm

DN100

DN160

排气口径Outlet

mm

DN40

DN40

重    量 Weight

Kq

600

700

噪    音Noise

dB(A

72

72

Dim.外形尺寸(长×宽×高)L×W×H

mm

1000×660 ×1050

1000×66×1050

 

单晶炉用干式螺杆真空泵的特点:

·无油气污染真空系统,可获得清洁真空

·配置单晶硅专用过滤器,减少硅粉吸入真空泵

·被抽气体不会被污染,尾气可进行回收利用

·无油气和油烟等有害气体的排放,环境污染小

·避免了因泵腔内润滑油乳化、变质而出现的运行故障,提高了系统的稳定性,同时减少了泵润滑油的损耗

·泵可单独使用,或者与罗茨泵、分子泵等组合成无油真空机组,作为机组的前级泵使用。单泵进气压力在1Pa至大气压均能正常工作,抽气效率高,可大大简化抽真空系统

·泵腔内各相对运动零件之间采用间隙密封,零件间无接触摩擦存在,零件损耗小,使用寿命长

·泵腔内采用间隙密封,对少量小颗粒粉尘不敏感

·整机体积小,减少占地面积

·消耗功率更低,节能效果好

·运行噪声低

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