专注螺杆、滑阀、罗茨真空泵等
PRODUCTS
产品中心
热门关键词：螺杆真空泵、滑阀真空泵系列、罗茨真空泵系列、气冷式（直排大气）、SK、2S(Y)K系列液环泵
产品展示
JZJLG150-3T型螺杆真空机组性能参数表：
|
机 组 型 号Model |
单位unit |
JZJLG150-3T |
JZJLG220-4T | |
|
抽 气 速 率 Pumping Speed
（50Hz/60Hz） |
L/S |
170/210 |
250/300 | |
|
m3/h |
630/756 |
900/1080 | ||
|
极 限 真 空Ultimate Pressure |
Pa |
≤0.2/0.1 |
≤0.2/0.1 | |
|
Torr |
≤1.5X10-3 ≤7.5X10-4 |
≤1.5X10-3 ≤7.5X10-4 | ||
|
水冷密封电机Water-cooled motor |
频率Frequency |
Hz |
50/60 |
50/60 |
|
电压Voltage |
V |
380 |
380 | |
|
功率Rated Power |
kW |
3+4.5 |
3+4.5 | |
|
转速 speed |
罗茨真空泵 Roots vacuum pump ZJ-150G |
rpm |
2900/3480 |
2900/3480 |
|
螺杆真空泵 Screw Vacuum Pump LG50G |
rpm |
2900 |
2900 | |
|
氮气N2/CDA |
压力Pressure |
MPa |
0.05-0.1 |
0.05-0.1 |
|
流量Purge Flow |
l/min |
6-20 |
6-20 | |
|
冷却水Cooling Water |
压力Pressure |
MPa |
0.2-0.4 |
0.2-0.4 |
|
压力差Pressure difference |
MPa |
0.1 |
0.1 | |
|
温度Temp. |
℃ |
10-30 |
10-30 | |
|
流量Purge Flow |
l/min |
3-5 |
3-5 | |
|
进气口径Inlet |
mm |
DN100 |
DN160 | |
|
排气口径Outlet |
mm |
DN40 |
DN40 | |
|
重 量 Weight |
Kq |
600 |
700 | |
|
噪 音Noise |
dB（A） |
72 |
72 | |
|
Dim.外形尺寸（长×宽×高）L×W×H |
mm |
1000×660 ×1050 |
1000×660 ×1050 | |
单晶炉用干式螺杆真空泵的特点：
·无油气污染真空系统，可获得清洁真空
·配置单晶硅专用过滤器，减少硅粉吸入真空泵
·被抽气体不会被污染，尾气可进行回收利用
·无油气和油烟等有害气体的排放，环境污染小
·避免了因泵腔内润滑油乳化、变质而出现的运行故障，提高了系统的稳定性，同时减少了泵润滑油的损耗
·泵可单独使用，或者与罗茨泵、分子泵等组合成无油真空机组，作为机组的前级泵使用。单泵进气压力在1Pa至大气压均能正常工作，抽气效率高，可大大简化抽真空系统
·泵腔内各相对运动零件之间采用间隙密封，零件间无接触摩擦存在，零件损耗小，使用寿命长
·泵腔内采用间隙密封，对少量小颗粒粉尘不敏感
·整机体积小，减少占地面积
·消耗功率更低，节能效果好
·运行噪声低