镀膜行业解决方案
各类真空镀膜工艺的专业真空系统解决方案
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各类真空镀膜工艺的专业真空系统解决方案
各类真空镀膜工艺解决方案
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镀膜工艺真空系统配置
镀膜类型 | 本底真空 | 工作真空 | 推荐真空机组 |
磁控溅射 | 5×10⁻⁴ Pa | 0.1 ~ 1 Pa | 分子泵+罗茨泵+干泵 |
真空蒸镀 | 1×10⁻³ Pa | 1×10⁻² Pa | 扩散泵+罗茨泵+机械泵 |
多弧离子镀 | 5×10⁻³ Pa | 0.1 ~ 5 Pa | 罗茨泵+滑阀泵机组 |
DLC涂层 | 1×10⁻⁴ Pa | 0.01 ~ 1 Pa | 涡轮分子泵系统 |
解决方案优势
• 快速抽气:大抽速机组配置,缩短镀膜周期30%
• 超高洁净:无油真空系统,膜层纯度>99.99%
• 稳定可靠:连续运行>720小时无故障
• 节能高效:比传统真空系统能耗降低40%
定制化服务:我们可根据您的具体工艺需求,提供从方案设计、设备选型到安装调试、运维培训的全流程真空系统解决方案。欢迎联系我们的技术专家获取专属方案! |
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